隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加速向先進制程邁進，氦檢漏設(shè)備作為保障晶圓廠真空環(huán)境密封性的核心裝備，正迎來需求爆發(fā)期。據(jù)QYResearch統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體用氦檢漏設(shè)備市場規(guī)模達87億元，同比增長42%，預(yù)計2025年將突破120億元，中國廠商市占率三年間從12%躍升至28%。
擴產(chǎn)潮推高設(shè)備需求
臺積電、三星、中芯國際等頭部企業(yè)近年累計投入超5000億元擴建12英寸晶圓廠，單座工廠需配置50-80臺氦檢漏設(shè)備用于真空腔體、氣路系統(tǒng)的精密檢測。某國產(chǎn)設(shè)備商透露，其今年新增訂單中，半導(dǎo)體領(lǐng)域占比達65%，較2020年提升40個百分點。
技術(shù)壁壘與國產(chǎn)化突圍
氦檢漏設(shè)備需實現(xiàn)10?¹² Pa·m³/s級超微漏檢測，長期被德國英?？?、美國安捷倫等外資品牌壟斷。近期，中科科儀、合肥真空等企業(yè)通過自主研發(fā)質(zhì)譜分析模塊與智能校準(zhǔn)算法，將設(shè)備檢測下限突破至0.5ppm，且價格較進口產(chǎn)品低30%-40%，已進入長江存儲、華虹集團等供應(yīng)鏈。
氦氣短缺倒逼技術(shù)升級
受地緣政治影響，全球氦氣價格較2021年上漲超300%，促使設(shè)備廠商加速研發(fā)“氦氣循環(huán)利用系統(tǒng)”。某企業(yè)新推出的閉環(huán)檢測設(shè)備可將氦氣消耗量降低95%，單臺設(shè)備年節(jié)省氦氣成本超200萬元，目前已在多家12英寸廠完成驗證。業(yè)內(nèi)人士指出，隨著第三代半導(dǎo)體、存儲芯片等高端產(chǎn)線建設(shè)提速，氦檢漏設(shè)備將向高精度、智能化、低氦耗方向迭代，預(yù)計2024年國產(chǎn)設(shè)備在28nm以下制程市場的滲透率將突破40%。
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